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Teflon™ Fluorpolymere in der Halbleiterfertigung

Ein Herzstück intelligenterer und kleinerer Technologien

Jeden Tag verbinden intelligente Geräte unsere Welt wie noch nie zuvor. Mit unserer Abhängigkeit von diesen Geräten wächst auch die Nachfrage nach leistungsstarken und kostengünstigen Halbleitertechnologien.

Bis 2020 wird das IoT (Internet der Dinge) aus mehr als 50 Milliarden vernetzten Geräten bestehen. Diese bevorstehende technologische Revolution treibt die Nachfrage nach immer leistungsfähigeren und effizienteren integrierten Schaltungen an, die die bekannten Grenzen von Design-Skala und Komplexität in Frage stellen werden. Um den immer strengeren Anforderungen an höhere Chip-Dichten und höhere Erträge gerecht zu werden, sind die Hersteller von integrierten Geräten (IDMs) auf die Zuverlässigkeit des Fab-Systems und die geringe Defektivität angewiesen wie noch nie zuvor. Weitere Informationen.

Beispiele für diese anspruchsvollen, intelligenten Technologien sind:

  • Selbstfahrende und autonome Fahrzeuge sowie die Sicherheits- und Kommunikationssysteme, die sie ermöglichen
  • Intelligente Haushaltsgeräte wie Thermostate und Kühlschränke, die Ihre Präferenzen kennenlernen und entsprechend anpassen können
  • Wearable-Elektronik mit integrierter Fitness- und Gesundheitsüberwachungstechnologie
  • Ein intelligenteres Energienetz, das in beide Richtungen zwischen dem Versorgungsunternehmen und seinen Kunden kommuniziert, um digital auf schnell wechselnde Anforderungen zu reagieren

Teflon™ Fluorpolymere verbessern die vernetzte Welt von Anfang bis Ende

Von der Chemikalienverteilung in großen Mengen bis hin zu Nassätz- und Planarisierungsprozessen ermöglichen die chemisch inerten Teflon™ Fluorpolymere die Ausrüstung und Systeme, die benötigt werden, um leistungsstarke, kontaminationsfreie Gase und Chemikalien während des Chipherstellungsprozesses zu liefern.

Teflon™ Fluorpolymere bieten zuverlässige, qualitativ hochwertige Lösungen, die es Geräteherstellern ermöglichen, die Chip-Ausbeute und Designfreiheit zu maximieren und gleichzeitig Ausfallzeiten und Prozessvariabilität zu minimieren.

Diese zuverlässigen, hochwertigen Fluorpolymere bieten:

Zuverlässigere Fertigung. Erhöhte Innovation.
Fluorpolymere der Marke Teflon™ verbessern die Zuverlässigkeit in der Halbleiterfertigung und ermöglichen es den Herstellern, innovativere und zuverlässigere Geräte zu entwickeln.

Schutz von Mikrochips vor Beschädigungen.
Die überlegene Chemikalienbeständigkeit von Fluorpolymeren stellt sicher, dass hochkorrosive Chemikalien während der Chipherstellung keine hochreine Umgebung verunreinigen.

Voranschreitende integrierte Schaltkreisverpackung.
Hervorragende elektronische Leistungen, wie niedrige Dielektrizitätskonstante bei gleichzeitig niedrigem Verlustfaktor, sowie außergewöhnliche UV-Leistung und Feuchtigkeitsbeständigkeit, sind für fortschrittliche Verpackungen auf Waferebene unerlässlich.

Echtzeit-Verbesserungen der Betriebseffizienz.
Je mehr Daten diese Geräte gemeinsam nutzen können, desto intelligenter und effizienter kann das IoT werden. Transportmittel, Gebäude und sogar Infrastruktur können Informationen in Echtzeit austauschen, um Energieverbrauch, Staus, Gefahren und Betriebskosten zu reduzieren.

Kontinuierliche Anpassung an die IoT Evolution.
Das Engagement von Chemours für Produktinnovationen bedeutet, dass sich Teflon™ Fluorpolymere weiter entwickeln werden, um den sich ändernden Anforderungen der Industrie und den Anforderungen an leistungsfähigere Prozesse gerecht zu werden. Die Vielfalt der Produkttypen (Kunststoffe, Beschichtungen, Dispersionen, Filme) der Fluorpolymerfamilie von Teflon™ bietet eine breite Palette von Weltklasseprodukten, die die Herstellung von Halbleitermaterialien ermöglichen.

Steigerung von Zuverlässigkeit und Effizienz in der Halbleiterfertigung


Ultrahochreine Chemikalien und Lösungsmittel, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden, erfordern Systeme und Ausrüstungen, die in der Lage sind, Korrosion und Auswaschung zu widerstehen, die Verunreinigungen einbringen können. Teflon™ Fluorpolymere ermöglichen es, dass Komponenten in hochreinen Flüssigkeitshandhabungsystemen korrosions- und verunreinigungsfrei bleiben.

Zu diesen Komponenten gehören:

  • Prozessbehälter
  • Rohre und Armaturen
  • Rohrleitungen und Schläuche
  • Ventile und Pumpen
  • Lager- und Transportbehälter
  • Filter
  • Sensoren

Fluorpolymerkunststoffe bieten große Vorteile in Bezug auf die Biegewechselfestigkeit, die chemische Spannungsrissbeständigkeit und die Schweißbarkeit von Komponenten, die mit hochreinen Flüssigkeiten arbeiten. Produkte wie Teflon™ Polytetrafluorethylen (PTFE) und Perfluoralkoxy (PFA) sind mit nahezu allen Chemikalien nicht reaktiv. Tatsächlich bietet die chemische Struktur von Teflon™ PFA HP-Kunststoffen den niedrigsten Gehalt an extrahierbaren Bestandteilen, um die Chip-Ausbeute zu schützen.

Komponenten und Werkzeuge, die mit Teflon™ Produkten hergestellt werden, funktionieren auch nach längerer Kontaktzeit mit hochreaktiven Chemikalien einwandfrei. Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen verhindern Komponenten mit Teflon™ Produkten die Verwendung von Flüssigkeitskontaminationen nach Gebrauch, wodurch die Prozessausbeute hoch und die Leistung konsistent bleibt.

Spezifische Teflon™ Fluorpolymerprodukte für jeden Prozess innerhalb der Halbleiterfertigung

Die Halbleiterfertigung ist mit vielen komplizierten Prozessen verbunden. Jedes Teflon™ Fluorpolymerprodukt wurde entwickelt, um die höchsten Standards in Bezug auf Reinheit, Zuverlässigkeit und Haltbarkeit zu erfüllen.

Hohe Reinheit in kritischen Anwendungen

Schon kleinste Spuren von Verunreinigungen oder bestimmte elementare Stoffe können erhebliche Auswirkungen auf die Ausbeute der Anlagen haben. Verständnis für die zentrale Rolle, die Fluorpolymere bei der Chipherstellung spielen. Weitere Informationen.